影像测量仪viewprecis200

东莞市天测光学设备有限公司提供影像测量仪viewprecis200。扩展了z轴范围 – 2.5mm, 5mm/100mm
透射照明
完整电子绘图 – 完全符合 semi s2 和 ce 标准
符合人体工程学的操作员控制台 ，带有隐藏键盘托盘, 可调节高度和角度的控制面板和显示器, semi s8 符合
全自动显微镜，所有设置计算机控制
好分辨率像素
view metrology software (vms ) 可测组件很广泛, 可选cad导入 以及完整几何尺寸和公差导入。
mmwin – 晶圆片 和mask计量软件 –晶圆片的重要尺寸和迭置重合测量, 滑块 abs,光掩模和平板显示器.
标准 可选
x,y,z行程(mm): 200 x 200 x 5 200 x 200 x 100
载重: 12 kg
xy精度: e1=(0.25+2l/1000)um
z 精度: e1=(0.25)um (with use of a 100x lens)
分辨率： 0.01 微米
视场测量精度和重复性：0.01 μm (100x)
直流伺服马达驱动
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